日本Aera流量计高精度工业质量流量控制器 工业精密流体测量设备的相关背景，日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备。Aera品牌源自美国，后归入日本日立旗下，是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品，在*高流体控制领域应用广泛。广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺，也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。

日本Aera流量计高精度工业质量流量控制器

工业精密流体测量设备的相关背景，日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备，核心信息如下：

品牌基础背景

Aera品牌源自美国，后归入日本日立旗下，是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品，在*高流体控制领域应用广泛。

核心性能优势

●响应速度极快：设置点之问的流量稳定时问不到2秒，可有效避免流量过冲问题。

●长期稳定性优异：投入使用后一年的零点漂移不到满标度流量的0.5%，出货一年内返修率不足0.5%。

●适配性强：采用标准连接器和临界尺寸，可直接替换其他品牌的同规格流量计，无需改动现有系统。

典型应用场景

广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺，也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。

日本Aera流量计高精度工业质量流量控制器

1. FC-7820

日本进口主打高稳定性，适配常规非腐蚀性气体的通用制程场景，具备耐高温、高精度的特性，符合日标工业规范。

2.FC-R7800CD

采用金属密封材质，防腐蚀性能优异，适配NH等腐蚀性气体场景，纯模拟量控制，支持±15V供电、0-5V信号控制。

3. FC-771AC

精度等级可达0.1%FS，适配各类常规气体，测量范围覆盖5slm-30slm，是实验室小流量精密控制的热门型号。

4. FC-D980C

数码型流量控制器，适配半导体CVD、PVD等高制程，支持全诊断警报功能，可实现高精度的非腐蚀性气体流量管控。

5. FC-R7810CD

专为NF:等特殊腐蚀性气体定制，金属密封结构，流量范围6SLM，适配电子制造的特种工艺场景。

Aera流量计MFCFC-R7700系列的特点

·高速响应—流量在设定值输入后不到2秒内稳定

·弹性体(橡胶)封条

·连接部件符合录像机、VCO和Swagelok标准

·全尺寸流量范围为10立方厘米至200SLM

·常闭或常开电磁阀控制阀

·外部泄漏率为1x10-7Pa-m3/秒(He)或更低

高精度橡胶密封MFC，具有高的性价比在半导体、FPD、数据存储设备、工业真空设备和工业涂层等市场，正在开发使用非腐蚀性气体的应用，包括CVD、PVD、蚀刻、离子植入、溅射、热氧化膜、光学玻璃涂层、光纤、表面处理及其他涂层工艺。

AeraFC-R7700系列以高可靠性和性能简化了工艺和设备工程师的工作。