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日本Aera工业精密测控设备AERA高精度流量计 工业精密流体测量设备的相关背景,日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备。Aera品牌源自美国,后归入日本日立旗下,是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品,在*高流体控制领域应用广泛。广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺,也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。
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