Aera高精度工业质量控制器日本气体流量计 工业精密流体测量设备的相关背景，日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备。Aera品牌源自美国，后归入日本日立旗下，是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品，在*高流体控制领域应用广泛。广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺，也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。

Aera高精度工业质量控制器日本气体流量计

工业精密流体测量设备的相关背景，日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备，核心信息如下：

品牌基础背景

Aera品牌源自美国，后归入日本日立旗下，是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品，在*高流体控制领域应用广泛。

核心性能优势

●响应速度极快：设置点之问的流量稳定时问不到2秒，可有效避免流量过冲问题。

●长期稳定性优异：投入使用后一年的零点漂移不到满标度流量的0.5%，出货一年内返修率不足0.5%。

●适配性强：采用标准连接器和临界尺寸，可直接替换其他品牌的同规格流量计，无需改动现有系统。

典型应用场景

广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺，也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。

Aera高精度工业质量控制器日本气体流量计

1. FC-7820

日本进口主打高稳定性，适配常规非腐蚀性气体的通用制程场景，具备耐高温、高精度的特性，符合日标工业规范。

2.FC-R7800CD

采用金属密封材质，防腐蚀性能优异，适配NH等腐蚀性气体场景，纯模拟量控制，支持±15V供电、0-5V信号控制。

3. FC-771AC

精度等级可达0.1%FS，适配各类常规气体，测量范围覆盖5slm-30slm，是实验室小流量精密控制的热门型号。

4. FC-D980C

数码型流量控制器，适配半导体CVD、PVD等高制程，支持全诊断警报功能，可实现高精度的非腐蚀性气体流量管控。

5. FC-R7810CD

专为NF:等特殊腐蚀性气体定制，金属密封结构，流量范围6SLM，适配电子制造的特种工艺场景。

Aera HG200和HC100系列的功能

流动稳定性：通过P函数和“温度和压力补偿函数"等功能，保持对环境波动的高流量精度

响应性与无变异性：“流量响应学习函数"通过测量个体特征以抑制变异。

自我诊断功能：通过与设备中积累的历史信息交叉核对，检查设备的健康状况。

高度可维护性：通过使用点阵液晶和存储卡，各种设置和信息采集操作变得容易。

支持远程更新固件和预设气体G通过FoE传输）。

主要规格

·产品名称:HG200E

·所用液体：气体

·测量方法：热传感器方法

·校准类型：MGMR(多气体多测距）。5.可以保留气体设置（气体类型、流量等）。

·流量范围：1050,000sccm

·控制范围:0.5°100% F.S.

·响应时间：0.3秒~

·通信方式：EtherCAT（支持CoE和FoE）

·符合ETG-SEM配置文件要求。

HG200E是一款采用EtherCAT接口的压力激励（P)质量流量控制器。

通过P控制，其流态优异，即使在上下游压力波动下也不变。它具备高响应性、流动精度、可重复和可靠性，适用于半导体制造、CVD、PVD、扩散、刻蚀等多种应用。