日本质量流量控制器Aera气体工业流量计 工业精密流体测量设备的相关背景，日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备。Aera品牌源自美国，后归入日本日立旗下，是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品，在*高流体控制领域应用广泛。广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺，也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。

日本质量流量控制器Aera气体工业流量计

工业精密流体测量设备的相关背景，日本Aera流量计是工业高制程领域的经典高精度气体质量流量控制设备，核心信息如下：

品牌基础背景

Aera品牌源自美国，后归入日本日立旗下，是半导体、精密镀膜等行业的流量控制标准级产品，在*高流体控制领域应用广泛。

核心性能优势

●响应速度极快：设置点之问的流量稳定时问不到2秒，可有效避免流量过冲问题。

●长期稳定性优异：投入使用后一年的零点漂移不到满标度流量的0.5%，出货一年内返修率不足0.5%。

●适配性强：采用标准连接器和临界尺寸，可直接替换其他品牌的同规格流量计，无需改动现有系统。

典型应用场景

广泛用于半导体CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺，也适配光学玻璃镀膜、光纤制备、工业真空涂层等对气体流量精度要求高的场景。

日本质量流量控制器Aera气体工业流量计

1. FC-7820

日本进口主打高稳定性，适配常规非腐蚀性气体的通用制程场景，具备耐高温、高精度的特性，符合日标工业规范。

2.FC-R7800CD

采用金属密封材质，防腐蚀性能优异，适配NH等腐蚀性气体场景，纯模拟量控制，支持±15V供电、0-5V信号控制。

3. FC-771AC

精度等级可达0.1%FS，适配各类常规气体，测量范围覆盖5slm-30slm，是实验室小流量精密控制的热门型号。

4. FC-D980C

数码型流量控制器，适配半导体CVD、PVD等高制程，支持全诊断警报功能，可实现高精度的非腐蚀性气体流量管控。

5. FC-R7810CD

专为NF:等特殊腐蚀性气体定制，金属密封结构，流量范围6SLM，适配电子制造的特种工艺场景。

·款畅销的高品质质量流，具备高分辨率和快速响应

采用镍钴合金制成的的波形金属隔膜采用理想的洁净阀门

和热传感器系统，气体接触段无滑动部件，继承了SAM品

牌的传统，并进一步演进为独特的质量流量控制器。

高温型80°C和超高温型150°C的阵容※是可用的。

特色

·多气体多段

·热感应系统

·压阀执行器

·高分辨率与快速响应

·100%金属密封，高纯度设计

·兼容80°C高温型和最高150°C超高温型※

·支持DeviceNet、RS-485和模拟控制]

·符合RoHS