株式会社 PILLAR（皮拉）SPELA300 PS-E 系列 高温型波纹管泵 PS-E10H /风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应高温型气动波纹管泵 PILLAR皮拉PFA接液口

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PILLAR SPELA™300 PS/PS-E 系列风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应株式会社PILLAR风囊泵 皮拉半导体波纹管泵 隔膜泵

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