PILLAR SPELA™300 PS/PS-E 系列风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应药液供应 清洗装置的循环管路风囊泵/PILLAR

PILLAR SPELA™300 PS/PS-E 系列风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应日本PILLAR风囊泵 晶圆湿制程药液循环泵

PILLAR SPELA™300 PS/PS-E 系列风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应PILLAR半导体风囊泵 PS/PS-E低脉动波纹管泵

PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。铃田供应高洁净晶圆清洗药液加注泵 PILLAR定量泵

PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。铃田供应PILLAR计量泵 晶圆清洗设备酸碱药液定量泵

PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。铃田供应半导体晶圆清洗用PW波纹管定量泵PILLAR