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曝光机DNK/日本科研垂直近距离曝光系统
产品简介:

曝光机DNK/日本科研垂直近距离曝光系统DNK的曝光机主要用于科研和小批量生产,比如液晶、晶圆、胶片这类材料的实验和加工。 它支持接触式和接近式曝光,面板尺寸最大能做到500×500mm,光源用的是超高压汞灯,功率从500W到3.5kW不等,光学系统可以灵活组合镜片和透镜来适配不同需求。

产品型号:FPD光刻设备MA-6801ML

更新时间:2025-12-29

厂商性质:经销商

访问量:15

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产品介绍

曝光机DNK/日本科研垂直近距离曝光系统

DNK曝光机的技术特点核心是灵活的光学系统、稳定的曝光控制以及适配多种工艺,特别适合小批量生产和实验研究。DNK的曝光机主要用于科研和小批量生产,比如液晶、晶圆、胶片这类材料的实验和加工。 它支持接触式和接近式曝光,面板尺寸能做到500×500mm,光源用的是超高压汞灯,功率从500W到3.5kW不等,光学系统可以灵活组合镜片和透镜来适配不同需求。

一、光学系统灵活可调

‌光源选择多样‌:支持500W、1kW、2kW、3.5kW超高压汞灯,能根据材料厚度和精度需求灵活搭配。

‌光学组件可定制‌:配备多种透镜和聚光镜,可优化光束均匀性和聚焦效果,适应不同尺寸的基板。

二、曝光模式与精度控制

‌支持接触/接近曝光‌:接触式(软/硬)适合高精度成像,接近式减少基板损伤,兼容性广。

‌自动间隙控制‌:MA-1200A等机型能稳定控制曝光距离,确保成像一致性。

三、适用场景与工艺

‌小批量生产利器‌:专为高混合、小批量设计,适合PCB、FPC、LCD、HDI等行业。

‌实验研究友好‌:支持多种基板尺寸(500×500mm),满足科研和试制需求。

四、其他实用设计

‌能量均匀性高‌:部分型号(如MA-4100)能量均匀性≥90%,提升曝光质量。

‌结构稳固耐用‌:采用不锈钢材质,净重达900KG,确保设备稳定运行。

曝光机DNK/日本科研垂直近距离曝光系统


曝光机DNK/日本科研垂直近距离曝光系统

通过将掩膜和基材垂直设计,这是一种变形更小的垂直近距离曝光机。它还兼容水平输送型的直线前后处理设备。

主要特征

·掩膜座/板级垂直放置。无需补偿面罩/罩座/板级自重的(偏转,实现了一个简单且稳定的装置。

·采用新光学系统后,影响图案传输准确性的赤角降至传统系统的一半以下(比我们公司),实现了更精确的图案传输。

·主体与光源分离。主体的热分布因结构不将光源热量传递到主体而得到改善。

·为防止因面罩与玻璃基材温差引起的膨胀和收缩,可以选择基底阶段温控和面罩冷却系统。(可选)

·该板尺寸可达1200毫米X1400毫米。此外,独特的光学系统实现了均匀的批量曝光。

·它可以配备一个可存储5个面具的面具库。

曝光机DNK/日本科研垂直近距离曝光系统



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