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DNK光刻机日本科研dnk基底粘结设备/曝光机
产品简介:

DNK光刻机日本科研dnk基底粘结设备/曝光机DNK的曝光机主要用于科研和小批量生产,比如液晶、晶圆、胶片这类材料的实验和加工。 它支持接触式和接近式曝光,面板尺寸最大能做到500×500mm,光源用的是超高压汞灯,功率从500W到3.5kW不等,光学系统可以灵活组合镜片和透镜来适配不同需求。

产品型号:DNK/日本科研

更新时间:2025-12-29

厂商性质:经销商

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产品介绍

DNK光刻机日本科研dnk基底粘结设备/曝光机

DNK曝光机的技术特点核心是灵活的光学系统、稳定的曝光控制以及适配多种工艺,特别适合小批量生产和实验研究。DNK的曝光机主要用于科研和小批量生产,比如液晶、晶圆、胶片这类材料的实验和加工。 它支持接触式和接近式曝光,面板尺寸能做到500×500mm,光源用的是超高压汞灯,功率从500W到3.5kW不等,光学系统可以灵活组合镜片和透镜来适配不同需求。

一、光学系统灵活可调

‌光源选择多样‌:支持500W、1kW、2kW、3.5kW超高压汞灯,能根据材料厚度和精度需求灵活搭配。

‌光学组件可定制‌:配备多种透镜和聚光镜,可优化光束均匀性和聚焦效果,适应不同尺寸的基板。

二、曝光模式与精度控制

‌支持接触/接近曝光‌:接触式(软/硬)适合高精度成像,接近式减少基板损伤,兼容性广。

‌自动间隙控制‌:MA-1200A等机型能稳定控制曝光距离,确保成像一致性。

三、适用场景与工艺

‌小批量生产利器‌:专为高混合、小批量设计,适合PCB、FPC、LCD、HDI等行业。

‌实验研究友好‌:支持多种基板尺寸(500×500mm),满足科研和试制需求。

四、其他实用设计

‌能量均匀性高‌:部分型号(如MA-4100)能量均匀性≥90%,提升曝光质量。

‌结构稳固耐用‌:采用不锈钢材质,净重达900KG,确保设备稳定运行。

DNK光刻机日本科研dnk基底粘结设备/曝光机
DNK光刻机日本科研dnk基底粘结设备/曝光机

这是一种基底粘结装置,利用了光刻机培养的对准技术和平行校正技术。

还可以实现用于研发的粘结设备,以及装卸机间自动运输的线路配置。

我们将针对有机电光电和太阳能电池等应用提出量身定制的方案。

主要特征

·采用了光刻机中培养的对准技术、并行校正技术和定位控制技术。

·系统可根据客户需求配置如盖玻璃、密封剂和填充剂。

·可选内部气氛:在腔室内最佳环境低于1ppm的情况下,H2O和O2都可以结合。


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