HORIBA（堀场）流量计整体介绍

一、公司背景HORIBA（株式会社堀场制作所）创立于1945年，总部位于日本京都，测量与分析仪器制造商。流量计业务主要由两大事业部承载：HORIBASTEC（半导体流体控制事业部）：总部位于日本静冈，专注半导体制造工艺中的气体/液体质量流量控制，是全球MFC（质量流量控制器）领域的头部厂商之一。HORIBAAutomotive（汽车测试事业部）：专注发动机/车辆研发测试中的燃油、排气流量测量。总部堀场制作所HORIBA,Ltd.董事会成员集团会长兼CEO堀場厚副会长兼集团CO...

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HORIBA流量计赋能PECVD、PVD、干法刻蚀、离子注入等核心制程对气体流量控制

全域流量精准可控！HORIBAD700WR宽范围压敏质量流量计赋能半导体精密制程升级D700WR宽范围压敏质量流量计D700WR安装了一个新的节流器，专为大范围控制应用设计，基于CRITERION™技术，具有高精度性能。D700WR可将流量控制在全量程范围的0.1%，帮助用户优化气体输送系统的灵活性。例如，如果系统安装了多个MFC用于高、低流量控制，用户可以减少MFC的数量，在同一位置使用另一个MFC用于不同的目的。当前半导体制程持续向精细化、高频次、智能化升级，...

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HORIBA高响应压力非敏感质量流量器D700MG应用领域

HORIBAD700MG压力不敏感质量流量模块半导体制程气体半导体刻蚀、沉积、扩散等核心制程对工艺气体的流量稳定性、配比一致性要求严苛，管路压力波动、环境温度变化、工况负载切换，都会对传统热式流量控制器的控制精度造成影响。HORIBA堀场CRITERION™系列D700MG作为工业级压力不敏感MFC、压差式质量流量模块，采用非热式压差检测架构，适配复杂动态供气工况，可在压力波动环境下维持稳定流量输出，是半导体量产制程通用型精密气体流量控制设备，广泛配套各类晶圆工艺...

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半导体工艺流体控制---HORIBA D700T压力不敏感型质量流量模块

HORIBAD700T压力不敏感型质量流量模块半导体工艺流体控制技术解析在半导体刻蚀、薄膜沉积等量产制程中，管路压力波动、气体切换频繁、工艺安全管控等因素，直接影响气体流量控制的稳定性与生产一致性。传统热式质量流量控制器易受温压工况干扰，难以适配复杂动态供气场景。针对行业工况痛点，HORIBA推出CRITERION™系列D700T压力不敏感质量流量模块，作为压差式MFC、双阀型MFC代表产品，依托压力式检测架构与双阀安全结构，实现流量精准控制与工艺安全防护双向适配...

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HORIBA D700uF 微流量压强不敏感质量流量模块产品介绍

HORIBAD700uF微流量压强不敏感质量流量模块产品介绍HORIBAD700uF（D717uF）是堀场CRITERION™系列压强不敏感MFC、压力式差压微流量质量流量模块，专为半导体先进制程极小流量气体管控量身打造，区别于传统热式MFC，凭借独特的压力传感+层流限流检测原理，解决微流量工况下压力波动干扰、控制精度差、稳定性不足等行业痛点，是半导体微流量控制、ALD气体控制、高深宽比刻蚀、离子注入掺杂场景的核心流体控制设备。设备沿用D700系列成熟平台架构，安...

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