13328024808
13328024808
产品中心
当前位置：首页
产品中心半导体晶圆甩干机KOKUSAN科库森H840SAKokusan科库森远心脱水机对向式离心干燥机
产品型号：H840SA
更新时间：2026-06-23
厂商性质：代理商
访问量：14
服务热线13122891488
产品分类
日本KOKUSAN科库森（国産遠心機）铃田上海代理原厂半导体晶圆专用对向式甩干离心干燥设备，行业成熟量产机型，依靠离心力 + 洁净气流协同完成晶圆表面精密脱水干燥，适配半导体光刻、清洗后工序洁净制程株式会社コクサン。KOKUSAN 科库森 H840SA 对向式离心干燥机，
Kokusan科库森远心脱水机对向式离心干燥机、Kokusan科库森远心脱水机对向式离心干燥机
KOKUSAN 科库森 H840SA 对向式离心干燥机这是一款作为半导体产业用晶圆干燥装置拥有许多实绩的设备。
通过离心力和气流将工件清洁并进行水切干燥。
通过提升机构，自动提升提升架。
| 电源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
|---|---|
| 驱动空气 | 0.5兆帕 (5千克/平方厘米2) |
| 最大处理量 | 6英寸载体×2架 5英寸以下载体×2架又或者4架 |
| 许容积载重量 | 2,000克以内（各等级架的承载重量） |
| ULPA过滤器 | 有 |
| 离子发生器 | 有 |
| 控制 | PLC・逆变器 |
| 操作部 | 按扣开关 |
| 转数 | 1,000转/分钟 (常用回转数 800转/分钟) |
| 发动机 | 逆变器电机 |
| 寸法 | 800(宽)×990(深)×1004(高)毫米 盖开时的高度1528(高)毫米 |
| 重量 | 180公斤 |
※我们还有8英寸及以下的设备、手动机、自动机等产品。
在半导体以外的应用中，也请随时与我们咨询。
铃田科技（上海）有限公司为中国区域授权代理商
设备高速旋转产生离心力，剥离晶圆表面附着水分；搭配 ULPA 超洁净过滤送风形成定向气流，快速带走水汽，杜绝水渍、水印残留；搭载摇篮自动抬升机构，工序完成后自动抬升载具，便于上下料作业。
半自动化结构：相比基础款 H840 配备自动摇篮升降机构，减少人工操作，适配产线连续作业
高洁净配置：标配 ULPA 高效过滤器 + 离子发生器，消除静电，避免微尘吸附、晶圆静电损伤
变频精准调速：变频电机 + PLC 程序控制，转速运行稳定，适配不同规格晶圆干燥工艺
双载具同步处理：双侧对向摆放托架，单次批量加工，生产效率更高
整机密封性优：封闭式腔体设计，洁净环境可控，满足无尘车间使用要求
上一个：
返回列表
