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产品中心半导体晶圆甩干机KOKUSAN科库森SPD-180半导体晶圆自转式离心干燥机Kokusan/科库森
产品型号：SPD-180
更新时间：2026-06-23
厂商性质：代理商
访问量：14
服务热线13122891488
产品分类
日本KOKUSAN科库森（国産遠心機）铃田上海代理原厂半导体晶圆专用对向式甩干离心干燥设备，行业成熟量产机型，依靠离心力 + 洁净气流协同完成晶圆表面精密脱水干燥，适配半导体光刻、清洗后工序洁净制程株式会社コクサン。KOKUSAN 科库森 H840SA 对向式离心干燥机，
半导体晶圆自转式离心干燥机Kokusan/科库森、半导体晶圆自转式离心干燥机Kokusan/科库森
KOKUSAN 科库森 SPD-180 自转式离心干燥机（Spin Dryer）
这是一款作为半导体产业用晶圆干燥装置拥有许多实际经验的设备。
通过离心力和气流将工件在清洁的水中切割并干燥。
通过提升机构，自动提升提升架。
| 电源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|---|
| 驱动空气 | 0.3兆帕 (3千克/平方厘米2) |
| 最大处理量 | 8英寸×25枚载体 1载体 |
| ULPA过滤器 | 有 |
| 离子发生器 | 有 |
| 控制 | PLC・逆变器 |
| 操作部 | 触摸屏 |
| 驾驶食谱注册数 | 5种类 |
| 转数 | 3,500转/分钟 (适用于5英寸及以下，6英寸及以上为3,000转/分钟) |
| 电机 | 逆变器电机 |
| 寸法 | 652(宽)×1135(深)×1080(高)毫米 盖开时的高度1352(高)毫米 |
| 重量 | 110Kg |
※我们还有8英寸及以下的设备、手动机、自动机等产品。
在半导体以外的应用中，也请随时与我们咨询。
电话咨询：CHINA区域一级代理商铃田科技（上海）有限公司
载具整体高速自转，依靠强离心力剥离晶圆表面纯水、清洗溶剂；
顶部 ULPA 超洁净风循环，配合离子风中和静电；
密闭腔体排走水汽，杜绝水印、水渍、颗粒吸附，避免晶圆氧化。
单载具设计：仅放置 1 个晶圆花篮，适配中小批量、研发线、小产线使用
超高转速配置：5 英寸及以下最高 3500rpm，6 英寸及以上 3000rpm，脱水效率远高于 H840SA
标配洁净系统：内置 ULPA 过滤器 + 静电消除离子发生器，Class100 洁净级处理环境
触控 PLC 程控：触摸屏操作，可存储5 组自定义工艺配方，转速、时长、加减速分段可调
气密腔体 + 安全联锁：上盖开盖停机保护，防晃动失衡报警，运行稳定性强
转子快拆结构：花篮托架拆装便捷，日常维护、清洁腔体简单
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