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产品中心
产品型号：SEC-E500
更新时间：2026-08-26
厂商性质：代理商
访问量：32
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产品分类
HORIBA通用型热式质量流量控制器 MFC流量计、HORIBA通用型热式质量流量控制器 MFC流量计
HORIBA堀场SEC-E系列质量流量控制器、SEC-E500
这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。
通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内：10 SCCM 至 200 SLM。
配备可靠的热传感器和电磁阀
流量控制范围广：10 SCCM 至 200 SLM (N2)
应用广泛
可集成至各种制造系统，包括：液晶显示器、光伏电池、功率半导体、镀膜一般工业：燃烧器气体控制；大气气体控制；混合气体生产；换气量测量
研发：各种气体传感器和燃烧室性能评估设备；生物技术相关评价
实验室：用于各种实验、气体取样的气流控制器
SEC‑E 属于经济型模拟款经典 MFC，是堀场早期主力通用流量控制器；搭载热式流量传感器 +电磁阀（螺线管阀），以模拟 0‑5V 信号控制流量。
无多气体多量程 (MR‑MG) 功能，出厂单气体、单量程标定，现场不可切换量程气体
无内置压力补偿，上游必须配置稳压阀，管路压力波动会影响流量精度
对标新一代数字机型：SEC‑Z500X / SEC‑Z700S（压电阀、数字总线），E 系列属于老款电磁阀方案，多用于光伏、面板、实验室、非先进半导体制程
典型应用场景
光伏、平板显示镀膜产线
工业热处理炉、烧结炉、燃烧供气
实验室研发设备、气体配比装置
普通 CVD 工艺（供气压力稳定工况）
用于实验室研究与测试的气体质量流量控制器
气体质量流量控制与测量和对PM2.5参考值的测量
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