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产品型号：SEC-Z500X
更新时间：2026-08-26
厂商性质：代理商
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产品分类
HORIBA多量程/多气体数字质量流量控制器、HORIBA多量程/多气体数字质量流量控制器
SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器
这是 HORIBA 数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。
该质量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 设定点）、压电阀、高速响应和全金属特性，可提高制程良率，简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。
SEC‑Z500X 是堀场半导体爆款通用型数字 MFC。主打现场免拆改量程、切换气体种类，一台设备覆盖多种工况；全金属流路、压电陶瓷高速阀门，是刻蚀、CVD、镀膜、光伏面板产线主流型号
多气体、多量程（MR‑MG 功能）内置庞大气体标定数据库，配套专用软件，无需拆下管路、不用更换硬件即可切换气体、修改满量程；单台支持最多 3 档量程切换，大幅降低备品库存成本HORIBA
CVD、PECVD、LPCVD 薄膜沉积工艺
干法刻蚀、清洗工艺（压力稳定供气工况）
LED、光伏、平板显示镀膜生产线
实验室、工艺开发、多配方调试设备
FS‑3000 分流系统从机通道优选配套型号
高精度 ±1.0% 设定点
该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。
高速响应
装配“可变 PID 系统"，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 系数。
多气体/多量程解决方案
配置软件可以快速方便地更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除质量流量控制器，即可进行更改。减少了所需的备用质量流量控制器的数量，节省时间和成本。
SEC-Z500X 质量流量控制器适用于各种应用以及半导体制造
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