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日本HORIBA堀场半导体事业部流体控制,其气体质量流量控制器(MFC)凭借高精度、高稳定性,广泛应用于半导体、光伏、光学镀膜、生化制药、科研实验等领域,用于各类工艺气体的精确质量流量测控,测量不受温度、压力波动带来的体积流量干扰,实现闭环自动流量调节。ALD/MOCVD微量供液控制器 HORIBA‑STEC
日本HORIBA堀场半导体事业部流体控制,其气体质量流量控制器(MFC)凭借高精度、高稳定性,广泛应用于半导体、光伏、光学镀膜、生化制药、科研实验等领域,用于各类工艺气体的精确质量流量测控,测量不受温度、压力波动带来的体积流量干扰,实现闭环自动流量调节。半导体ALD、MOCVD质量流量计HORIBA
日本HORIBA堀场半导体事业部流体控制,其气体质量流量控制器(MFC)凭借高精度、高稳定性,广泛应用于半导体、光伏、光学镀膜、生化制药、科研实验等领域,用于各类工艺气体的精确质量流量测控,测量不受温度、压力波动带来的体积流量干扰,实现闭环自动流量调节。HORIBA帕尔贴冷却式液体质量流量控制器
日本HORIBA堀场半导体事业部流体控制,其气体质量流量控制器(MFC)凭借高精度、高稳定性,广泛应用于半导体、光伏、光学镀膜、生化制药、科研实验等领域,用于各类工艺气体的精确质量流量测控,测量不受温度、压力波动带来的体积流量干扰,实现闭环自动流量调节。HORIBA‑STEC LF‑F/LV‑F数字式液体流量计
日本HORIBA堀场半导体事业部流体控制,其气体质量流量控制器(MFC)凭借高精度、高稳定性,广泛应用于半导体、光伏、光学镀膜、生化制药、科研实验等领域,用于各类工艺气体的精确质量流量测控,测量不受温度、压力波动带来的体积流量干扰,实现闭环自动流量调节。HORIBA通用型热式质量流量控制器 MFC流量计
日本HORIBA堀场半导体事业部流体控制,其气体质量流量控制器(MFC)凭借高精度、高稳定性,广泛应用于半导体、光伏、光学镀膜、生化制药、科研实验等领域,用于各类工艺气体的精确质量流量测控,测量不受温度、压力波动带来的体积流量干扰,实现闭环自动流量调节。HORIBA多量程/多气体数字质量流量控制器