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产品中心
产品型号：SEC-Z714SMG
更新时间：2026-08-26
厂商性质：代理商
访问量：36
服务热线13122891488
产品分类
HORIBA半导体新型压力补偿质量流量控制器、HORIBA半导体新型压力补偿质量流量控制器
SEC-Z700S 系列
新型压力补偿质量流量控制器
SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。
新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。
SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。
HORIBA‑STEC SEC‑Z700S 系列
产品全称：压力不敏感型（PI）质量流量控制器 MFC
HORIBA STEC（堀场） 半导体晶圆制造‑气体流体控制
SEC‑Z700S 是新一代带内置压力补偿的热式质量流量模块。自带绝压传感器 + 32 位处理器实时运算补偿，不受上下游管路压力波动干扰，可省去上游稳压阀，简化供气气路、减少漏点，专为先进制程刻蚀、薄膜沉积等高要求工艺开发
基本特征
多气体/多量程功能，客户可以更改气体类型和满量程流量
稳定控制气流，不受上流和下流压力波动的影响
集成多重显示
超洁净设计：金属隔膜，全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理（标准）
尺寸紧凑，50 SLM 以内采用相同的安装尺寸
信号兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式
主要特征
确保 1% 设定点精度（流量≥5%）
高重复性（≤±0.15% 设定点/流量≥5%）
范围控制广（0.5-100% 满量程）
可调响应（300ms≤t≤1000ms）
高操作温度（15-60℃）
低阀座泄漏（≤0.1% 满量程/#01-#06）
高耐腐蚀性设计
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