13328024808
13328024808
产品中心
产品型号：D700WR
更新时间：2026-08-24
厂商性质：代理商
访问量：8
服务热线13122891488
产品分类
HORIBA D700WR 宽范围压敏质量流量控制器 (MFC)
D700WR 属于CRITERION™D700 系列，HORIBA‑STEC 新一代半导体级压力敏感型 MFC，主打超宽调节比，单台实现 0.1%‑100% FS 流量控制，用来替代多台不同量程 MFC，简化机台气盘布局
HORIBA堀场D700WR宽范围压敏质量流量计
D700WR 安装了一个新的节流器，专为大范围控制应用设计，基于 CRITERION™ 技术，具有高精度性能。D700WR 可将流量控制在全量程范围的 0.1%，帮助用户优化气体输送系统的灵活性。例如，如果系统安装了多个 MFC 用于高、低流量控制，用户可以减少 MFC 的数量，在同一位置使用另一个 MFC 用于不同的目的。
HORIBA堀场MFC宽范围压敏质量流量控制器、HORIBA堀场MFC宽范围压敏质量流量控制器
0.1～100% 宽范围控制和高精度低流量
为流程优化提供灵活性
≤ 500ms 递增响应
提供高生产力和更大的过程性能
稳健CIP压力传感器
减少大批量生产的停机时间和人工成本
10 倍更好的阀门关闭和耐腐蚀性的 PFA 喷嘴
鲁棒性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多的内部数据
状态监控功能的输出项
采用 CRITERION™压敏式技术：通过节流元件 + 多组压力传感器采集压差，结合算法计算质量流量，压电阀闭环调节；区别传统热式 MFC，对气源压力波动适应性更强，同时实现极宽调节比。
典型应用
半导体干法刻蚀（最主要场景）、薄膜沉积工艺
同一气路需要频繁切换大流量吹扫 + 微量工艺气体
设备希望减少 MFC 数量，简化气盘、降低硬件成本
研发工艺平台，需要覆盖很宽流量区间的实验场景
当前位置：
上一个：
返回列表
